光学电子净化工程是指特别设计的一种密闭空间, 排除此空间内一定范围内空气中的污染物, 如微尘粒子、 有害空气、 细菌等, 并控制室内的温湿度、 洁净度、 室内压力、 气流速度与气流分布、 噪音震动及照明、 静电在某一需求范围内, 因此也被称为清净室或无尘室净化工程。 目前, 在半导体、 精密制造、 液晶制造、 光学制造、 线路板制造和生物化学、 医药、 食品制造等行业中, 光学微电子无尘车间已是不可或缺的重要设施。
近几年来, 由于技术的创新发展, 迫切要求产品的高精密度化、 细小型化, 如研究制造超大型积体电路, 已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。
光学微电子净化工程一般包括:
1、 洁净生产区
2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、 物料净化用室和部分生活用室等)
3、 管理区(包括办公、 值班、 管理和休息等)
4、 设备区(包括无尘净化工程空调系统应用、 电气用房、 高纯水和高纯气用房、 冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程, 即可达到净化目的。
优点:
A. 处理空气的效果好, 因空气经过集中处理, 在送风过程中被污染程度较低。 能比较控制送风的温度、 湿度;
B. 空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;
C. 比较适用于较大的厂房有集中冷源的的厂房;
D. 较低的维修频率;
E. 车间里的噪音小。
缺点:
光学微电子净化工程需要有一定的室外空间和有空调机房, 用以搭配好的冷冻机房的建设、 热泵机组的放置以及组合式空气处理机组的放置。 对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个 20-30┫ 的机房的; 此外, 该工程的造价高也是缺点之一。